◆性能特點(diǎn):
光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計,功能強(qiáng)大。
同時具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時工作,互不影響。
同時具備光學(xué)二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能。
激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,抗干擾性強(qiáng)。
精密探針定位裝置,激光光斑對準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡便。
單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描。
馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針方式,保護(hù)探針及樣品。
超高倍光學(xué)定位系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位。
集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%。
◆測量范圍及應(yīng)用:
測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應(yīng)用案例 Application Case
序號 | 名稱 | 技術(shù)參數(shù) |
01 | 工作模式 | 恒高模式、恒電流模式 |
02 | 電流譜曲線 | I-V曲線、電流-距離曲線 |
03 | XY掃描范圍 | 5×5um |
04 | Z掃描范圍 | 1um |
05 | 掃描分辨率 | 橫向0.05nm,縱向0.01nm |
06 | 樣品尺寸 | Φ≤68mm,H≤20mm |
07 | 樣品臺行程 | 15×15mm |
08 | 光學(xué)觀察 | 1~500倍放大連續(xù)可調(diào) |
09 | 掃描速率 | 0.1Hz~62Hz |
10 | 掃描角度 | 0~360° |
11 | 運(yùn)行環(huán)境 | Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng) |
12 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
13 | 減震設(shè)計 | 彈簧懸掛方式 |