◆性能特點(diǎn):
小型化及可拆卸化設(shè)計,非常便于攜帶及課堂教學(xué)。
檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,抗干擾性強(qiáng)。
單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描。
馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針方式,保護(hù)探針及樣品。
側(cè)面CCD觀察系統(tǒng),實時觀察探針進(jìn)針狀態(tài)與定位探針樣品掃描區(qū)域。
彈簧懸掛式防震方式,簡單實用,防震效果好。
集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%。
◆測量范圍及應(yīng)用:
測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
應(yīng)用案例 Application Case
序號 | 名稱 | 技術(shù)參數(shù) |
01 | 工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 |
02 | 選配模式 | 摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 |
03 | 力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 |
04 | XY掃描范圍 | 50×50um,可選20×20um,100×100um |
05 | Z掃描范圍 | 5um,可選2.5um,10um |
06 | 掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm |
07 | 樣品尺寸 | Φ≤68mm,H≤20mm |
08 | 樣品臺行程 | 25×25mm |
09 | 光學(xué)物鏡 | 5X/10X/20X/50X平場復(fù)消色差物鏡 |
10 | 光學(xué)目鏡 | 10X |
11 | 照明方式 | LED柯勒照明系統(tǒng) |
12 | 光學(xué)調(diào)焦 | 粗微動手動調(diào)焦 |
13 | 攝像頭 | 500萬像素CMOS傳感器 |
14 | 顯示屏 | 10.1寸平板顯示器,帶圖像測量功能 |
15 | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
16 | 掃描角度 | 0~360° |
17 | 運(yùn)行環(huán)境 | Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng) |
18 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |